Анализатор микросистем MSA-500

Анализатор микросистем MSA-500 представляет собой удобное единое решение, объединяющее в себе несколько технологий, предназначенных для описания рельефа поверхности и измерения как плоских, так и пространственных перемещений. Прибор обладает непревзойденной гибкостью применения и высокой точностью, что делает его незаменимым при работе с современными и перспективными микроструктурами. Включенный в цикл проектирования и испытаний MEMS, MSA-500 обеспечивает точные трехмерные данные динамического и статического поведения, которые упрощают поиск неисправностей, совершенствуют и сокращают цикл разработки, улучшают производительность и рабочие характеристики, а также уменьшают стоимость изделия.

Три технологии, объединенные в единой системе

В анализаторе микросистем Polytec объединены три высокотехнологичных метода измерения, дающих возможность углубленного исследования микроструктур без применения другого испытательного оборудования.

Статическое описание топографии сканирующей интерферометрией белого света применяется для грубых и гладких поверхностей, при этом достигается суб-нанометровое вертикальное и суб-микрометровое горизонтальное разрешение

Динамическое описание в реальном времени пространственных колебаний лазерной доплеровской виброметрией на частотах до 24 МГц и разрешением в пикометровом диапазоне

Динамическое описание плоских перемещений стробоскопической видеомикроскопией до 1 МГц с разрешением в доли нанометров

Комбинация всех трех технологий делает MSA- 500 универсальным инструментом для:

Получения трехмерных профилей и определения форм и параметров поверхностей

Идентификации, визуализации и измерения резонансных и переходных характеристик систем

Регистрации полной информации об амплитуде и фазе

Убедительные преимущества использования в научных исследованиях и производстве

Быстрая идентификация и визуализация резонансов системы и ее статической топографии

Интегрированная оптика микроскопа, обладающая оптимизированной оптической длиной пути, обеспечивает наилучшее поперечное разрешение и высочайшее качество изображения

Удобная интеграция с испытательными станциями для MEMS/подложки

Простота в освоении и применении, готовность к измерению в течение нескольких минут

Короткий цикл измерения благодаря высокой производительности

Сокращение времени, затрачиваемого на разработку и доводку изделия, ускоряет его продвижение на рынок

Определение топографии поверхностей

Для обеспечения качества и требуемых характеристик обрабатываемых функциональных поверхностей при разработке и производстве микросистем необходимо выполнять прецизионную верификацию топографии. Непревзойденное пространственное разрешение, как в плоскости, так и в поперечном направлении делает модуль измерения топографии анализатора микросистем инструментом, который идеально подходит для пространственного анализа профиля микроструктур.

Сканирующая лазерная виброметрия

Сканирующий лазерный доплеровский виброметр позволяет выполнять бесконтактные измерения в режиме реального времени для исследования пространственного вибрационного поведения и определения виброскорости и виброперемещения в любой точке образца. Уникальность состоит в возможности регистрировать данные с разрешением в пикометры, оценивать частотную характеристику до 24 МГц, анализировать неидеальные (реальные) или нелинейные системы.

Стробоскопическая видеомикроскопия для обнаружения колебаний в плоскости

Для точного измерения высокочастотных колебаний в плоскости при испытаниях устройства используется стробоскопическая техника. С помощью стробоскопической подсветки и цифрового изображения быстрые периодические движения объекта могут быть мгновенно остановлены для захвата положения в интересующей области исследуемого образца

Конфигурации

Анализатор микросистем MSA-500 может быть сконфигурирован для работы во множестве режимов и диапазонах измерения, применяемых при исследовании микроструктур. Ниже приведена таблица, помогающая выбрать систему для подходящего типа применения. Компания Polytec поставляет системы, предназначенные для решения определенной самостоятельной задачи или комбинированных измерений.
Для измерения боковых колебаний система может иметь конфигурацию с одним лучом, либо обладать возможностью дифференциальных измерений. Дополнительно к стандартной версии с частотным диапазоном до 1 МГц имеется опция 24 МГц, оснащенная высокочастотными функциями регистрации данных и формирования сигналов.

С этим товаром покупают:

СКАНИРУЮЩИЙ ВИБРОМЕТР PSV-400	ЛАЗЕРНЫЙ ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ ЦЕНТРИРОВАНИЯ ВАЛА FLUKE 830	ВИБРОМЕТР FLUKE 805